Mikroskopische Schichtdickenmessung DIN EN ISO 1463
Die mikroskopische Schichtdickenmessung gemäß DIN EN ISO 1463 ist eine standardisierte Methode zur Bestimmung der Dicke von Schichten und Beschichtungen auf einem Substrat mittels mikroskopischer Verfahren. Diese Methode wird häufig zur Messung der Dicke von galvanischen, anodischen und chemisch abgeschiedenen Schichten sowie von Lacken und anderen Beschichtungen verwendet. Sie wird auch bei der Messung von Oxidschichten verwendet.
Die Probe muss einen Querschnitt der zu messenden Schicht enthalten. Dazu wird die Probe typischerweise eingebettet, geschliffen und poliert, um eine geeignete Oberfläche für die mikroskopische Untersuchung zu erhalten. Die Einbettung erfolgt in einem Kunststoff, um die Probe während des Schleifens und Polierens zu stabilisieren.
Die präparierte Probe wird unter einem Lichtmikroskop untersucht. Dabei wird der Querschnitt der Schicht betrachtet, um die Schichtdicke zu messen.
Es wird eine geeignete Vergrößerung gewählt, um die Schicht deutlich darzustellen und die Grenzfläche zwischen Schicht und Substrat klar zu erkennen.
Messung der Schichtdicke:
Die Dicke der Schicht wird entlang einer Linie senkrecht zur Schichtoberfläche gemessen. Es können mehrere Messungen an verschiedenen Stellen der Probe durchgeführt werden, um einen Mittelwert zu bilden. Die Messungen werden in der Regel mit digitaler Bildanalyse-Software durchgeführt.