Mikrostrukturanalyse mit REM, FIB und APT

Durch die hohe Auflösung bis in den Sub-nm-Bereich ist das REM unser Standardwerkzeug zur Untersuchung von:

• Ausscheidungen und Einschlüssen
• Schichtsystemen
• Korngrößen
• Poren und anderen Sub-µm-Strukturen

Die Kombination aus FIB und REM erweitert unser Repertoire um folgende Möglichkeiten:

• Erzeugung oberflächennaher Querschnitte
• Charakterisierung dünner Schichten und Schichtsysteme
• Herstellung von STEM- und APT-Proben
• 3D-Darstellung und Berechnung von Gefügen

Im Bereich der Schadensanalyse können wir mit unseren Systemen folgende Fehlstellen identifizieren und analysieren:

• Bruchflächen
• Rissfortschritt und Rissbewertung
• Wasserstoffversprödung
• Fremdeinschlüsse

Zusätzlich eingebaute Systeme ermöglichen uns, eine ganzheitliche Bewertung durchzuführen:

• Chem. Analyse von Partikeln, Schichten oder Elementverteilungen (EDX)
• Analyse von Kristallorientierungen, Korngrößen-verteilungen, Versetzungsdichten, Texturen, Verformungen und Vorzugsrichtungen (EBSD)
• Rekonstruktion ehemaliger Austenitkörner aus EBSD-Daten
• Untersuchung und chem. Analyse von Ausscheidungen, Phasen und Schichten bis in den Sub-nm-Bereich (STEM inkl. STEM-EDX)
• Lokal aufgelöste Reparaturen, Fertigung präziser Maskengeometrien und spezieller mechanischer Bauteile, gezielte Abscheidung leitender und nichtleitender Verbindungen (Micromachining)

Darüber hinaus können wir auf de facto atomarer Skala mittels Atomsondentomographie (APT) dreidimensionale Materialanalysen verschiedenster Werkstoffe im Nanoskalenbereich mit Analyseempfindlichkeiten von bis zu 5 ppm anbieten.