Elementverteilungsbilder mit REM EDX Mapping
Elementverteilungsbilder (auch EDX Mapping genannt) mithilfe des Rasterelektronenmikroskop (REM) kombiniert mit energie-dispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) bieten eine umfassende Methode zur Analyse und Visualisierung der chemischen Zusammensetzung von Werkstoffen. Bei dieser Technik wird die Oberfläche der Probe zunächst im REM untersucht, um die mikroskopische Struktur und Topografie darzustellen. Anschließend wird durch EDX Analyse die Verteilung der chemischen Elemente erfasst.
Während des EDX Mapping erzeugt der Elektronenstrahl charakteristische Röntgenstrahlen, die vom Silizium-Drift-Detektor gemessen werden. So lassen sich spezifische Elemente im Material nachweisen und ihre Verteilung in Form von Farbbildern darstellen. Diese Methode ist besonders nützlich für Anwendungen, bei denen es auf die genaue Lokalisierung von Elementen ankommt, etwa in der Materialwissenschaft, Geologie und Elektronik.
Durch REM EDX Elementverteilungsbilder können:
- Inhomogenitäten und Verunreinigungen identifiziert werden, die Rückschlüsse auf die Materialqualität zulassen.
- Schichtstrukturen und Diffusionsprozesse visualisiert werden, was in der Forschung und Entwicklung hilfreich ist.
- Materialzusammensetzungen detailliert analysiert werden, um spezifische Anteile von Legierungselementen oder Verbindungen darzustellen.
Diese Methode ermöglicht es, die chemische und strukturelle Zusammensetzung von Werkstoffen präzise und anschaulich zu dokumentieren.
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